关于深能级瞬态谱简述 深能级瞬态谱


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1、深能级瞬态谱能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态 。
2、通过深能级瞬态谱仪对样品的温度扫描,可以给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度(即能量)分布的DLTS谱 。
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